半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备精致首测智能化涉重废水处理工艺——MVR禁止嵌套循环零排建设项目
品牌游戏 背景
半导体设备材料高品质公测的顶目,的规模150立米米/天,是第一例半导体设备材料公测模块化涉重工业废水处理工艺零排的顶目。公测节点的镀镍、镀铜、引线眼镜框架家电清洗会引起含镍含铜工业废水处理工艺,该项目规范要求"无尾水外排",产水全部都造纸废水处理于产线。
水质标准特征英文与困难
电镀废水以含镍为中心(有机酸废气浓度10–100毫克/升),伴极少量铜、锌,pH下跌大(2–12),同时还有光刻胶杂质的极少量有机酸物。公测厂办公场地紧,想要办理体系占地面小;零排后果着浓水无法清运太多太多,必要本地化减压蒸馏晶体开环。
清理工学艺风格
布局走"分质回收 → 预外理除杂 → 化学物质悠长岁月中除镍 → 过滤装置 → UF+多级RO → MVR被迫反复化掉 → 空调蒸发器水使用":
含镍线先调pH到10–11,加药氢被硫化钠形成Ni(OH)₂凝固,多加塑炼钠广度收集多余镍(塑炼镍Ksp比氢被硫化镍更小,能够将镍压到0.1毫克/升有以下);
奠定出水出水经多导电介质筛选水+安保筛选水后进UF,再进一级通过成绩RO,产水真接回产线除污;
RO浓水(含盐+残留天价属)进MVR強制性重复汽化器,強制性重复能扛高含盐水垢,汽化器自己准备手机在线洗,不可堵;
MVR气液分离器水返回到造纸废水处理养鱼池,多效蒸发残液委外燃烧或算作危险废弃物正确处理,一整块工业园区无等离子态外排。
要点装置缺点这说明
MVR硬性反复好于普普通通降膜减压蒸馏,反复流体密度高、导热面不方便结镍盐/碳酸盐垢,比较适合公测这个"发电量很小但生活饮用水杂"的场境;一起化撬装开发占地面积比傳統减压蒸馏塘+多效减压蒸馏细则小60%上面;废气侧配置微生物滤池,把调整池和污泥干化间的废气收集整理后吸附成CO₂和水,杜绝公测厂挨着办公楼区的臭味投诉信。
处理感觉与生态效益
出水量镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,高于《电镀层生态破坏物进行尾气排放标准规定》表三;彻底150立米米/天产水回收于测封产线刷洗,替换等量鲜活水;危废处理(化掉残液+废水)量比传统的"沉淀自己+进行尾气排放标准"玩法减约70%。对富士康侧,测封创业项目环保标准许可卡点被揍通;