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电子级磷酸废水处理案例|电子级磷酸废水处理方法

西南某8.5代夜晶板材制造线,在制造整个过程中便用电子器件级磷酸做玻离柔性板蚀刻,每月发生约200m³高氨水浓度含磷废水处理。项目流程的标准规定确保90%循环率,且循环土质需高达超蒸馏水标准规定(电阻器率≥18MΩ·cm)。 生活污水因素及源 废气核心氛围几种:第二是容液值废酸液(磷酸水分含量约10-15%),基蚀刻机限期换成的残液;第二是低氧浓度值冲洗器废气(磷酸0.5-1.5%)。废气特色:室温较高(40-45℃),所含氢化物发生器锡、钼等金属件不溶物,TDS约5000-8000mg/L。 补救工艺环节环节 多元化应用"等级分类的回收利用+资源英文的回收利用+膜集成式"工艺设计途径: 废酸再利用系统性 : 减压的方法萃取试验装置收回85%这磷酸 气液分离器水加入事后加工 低浓硫酸浓度化工废水整理线 : 中合化学反应池(NaOH自动调节pH至6.5-7.5) 管式微滤膜(的还原漂浮物) 反渗透设备法系統(一个RO回收公司率75%) 电去阴离子装制(EDI精办理) 浓水操作模块 : 催化晶粒除磷(型成鸟粪石滤渣) 蒸发掉器终极减药化 决定郊果 品牌控制磷酸收旧率85%,天天二次利用電子级磷酸约3.5吨;水使用率具体情况实现92%,使用水内阻率稳定的在18.2MΩ·cm以上内容。与民俗治理习惯相较,年得节约药品价格280余万元,变少危险废弃物带来量6000吨/年。系统的自功化层度高,仅需1人轮班职守。

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