该厂家硅片产量全过程中引起四氟化硅（SiF₄）气体，质量浓度约150-300mg/m³，气体中具有刺激性少许氟化氢（HF）和氮钝化物（NOx）。 加工方法 ： 选用“水融合+碱液中合+可溶性炭气体吸附”工艺设备： 水吸收率塔 ：SiF₄湿水后反响自动生成氟硅酸（H₂SiF₆）和HF。 碱液采和 ：NaOH液体结合弱酸性杂质，产生Na₂SiF₆凝固。 渗透性炭吸咐 ：进一歩清理多余氟化物及NOx。 行驶目的 ： 除理后烟气氟化物总氧化还原电位<3mg/m³，NOx<50mg/m³，提高《十足的固体废弃物综合评估排放细则细则》（GB16297-1996）让。 四、行业中概况与未来的发展前景发展前景的趋势 现，含氟尾气办理技术水平已相成长期，但行业领域仍受到下列击败： 极有效率益投入极有效率水平所需 ：现阶段湿法外理执行直接费用较高，干法粘附剂净化能力待优化系统。 信息化进行 ：如回收并氟硅酸制取氟盐，保证固体废物資源化。 智力化的控制 ：经过百度在线监控网与重新调接，加快除理系统化安全稳定义。 未來，跟着节能环保标准单位趋严，含氟废液整理将向 快速化、低用电量、资源性化 方位经济发展，组和工序（如等阴阳离子体+崔化氧化物）或将将成为设计热门话题。 五、实验结论 含氟有机气体净化处理需依据有机气体组成成分、溶度确定合理的艺，湿法吸收能力适宜于高溶度酸碱性有机气体，干法吸附性更是和低溶度复杂的有机气体。能够明显案列可見，搭档艺能很好的加强除掉能力，提高认识未达标废气。职业应结合实际个人情况下，确定经济发展社会必须的技術方案范文，并且私信职业新技術转型，以达成环保性与经济发展社会效率共赢。