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某巨型半导体集成块制做行业公司处在长角形区县,基本制作晶圆和集成块。在制作的过程 中,晶圆裁切和cnc精密机械加工关键时期制造大批磨研液废液,平均尾气排放标准口量约50吨。因为废液中内含高渗透压自动隐藏物、重金属化合物及可挥发增添剂,就直接尾气排放标准口会对生态会导致造成 影响,行业公司急要开发正规专业治疗基础设施。
电镀废水因素及由来
粉磨液生产废水重点从何而来于晶圆处理中的耐腐蚀机械设备磨光(CMP)工艺流程,重点破坏物例如:
悬浮物顆粒物
:二脱色硅、脱色铝等磨细颗粒物,粒度分布在0.1-1μm,有机废气浓度达2000mg/L。
黑色金属亚铁离子
:铜、铁、锌等,基cnc精密机械加工垫磨坏及晶圆表皮复合层,铜亚铁离子盐浓度约50mg/L。
有机质加入剂
:有面上灵活化剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强典型的含碱类物质
:pH值浮动大,一般在2-11之前。
处置工艺过程过程
重视电镀废水形态,用“预外理+生化模式+的深度外理”女子组合技艺:
调试池
:均匀环境质量蓄水量,加上酸碱性可以调节pH至弱酸性。
混泥土积累
:添加PAC(配位聚氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),祛除悬屏物和电解质溶液,沉降后SS祛除率>90%。
崔化空气氧化
:用Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)光降解无机填加剂,COD的还原率达60%。
菌物进行处理
:MBR膜生物工程发应器进一部生物降解已满有机酸物,COD调至100mg/L以内。
铝离子互转
:使用不饱和树脂离心分离铜正离子,冒水铜的含量<0.5mg/L。
砂滤+生物炭滤出
:狠抓满水后明净,实现《水量合理排卸细则》(GB8978-1996)五级细则。
最终能够郊果
平台进行稳定性高后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜正离子<0.3mg/L。
中水回用率达40%,多余考核标准废气排放出,年才能减少污水废气排放出1.5万吨。
整理价格约15元/吨,远低过行业领域评均。